БЛОГ

Что такое MOCVD

Гораций Хе

Последнее обновление: 26 декабря 2023 г.

Что такое MOCVD

MOCVD, или металлоорганическое химическое осаждение из паровой фазы, - это метод, используемый в светотехнической промышленности для нанесения тонких пленок материалов на подложку. Этот процесс предполагает использование металлоорганических прекурсоров, которые нагреваются в реакторной камере для получения пара. Полученный пар вступает в реакцию с полупроводниковой подложкой, что приводит к образованию тонкой пленки. MOCVD выполняется в тщательно контролируемых условиях, включая точный контроль температуры, давления и скорости потока газа.

Возможно, вы заинтересованы в

  • Потолочный диммер с датчиком присутствия PIR RZ037 для напряжения 220V
  • Максимальный рабочий ток 3A при номинальной нагрузке 660W
  • Кнопка LUX управляет включением/выключением датчика освещенности и заданной пользователем яркостью диммера
  • Потолочный диммер с датчиком присутствия PIR RZ037 для напряжения 110V
  • Максимальный рабочий ток 3A при номинальной нагрузке 330W
  • Кнопка LUX управляет включением/выключением датчика освещенности и заданной пользователем яркостью диммера
  • Потолочный PIR-датчик присутствия с выходом реле сухого контакта
  • Низковольтное питание 12/24В постоянного или 12/24В переменного тока
  • Изолированные контакты реле COM, NO и NC для входов системы управления зданием, EMS и HVAC
Изображение продукта потолочного микроволнового датчика движения RZ048
  • Низковольтный DC встраиваемый потолочный микроволновый датчик движения
  • Вход 12В DC/24В DC с диапазоном 10-30В DC
  • Максимальный рабочий ток 10A с регулируемой задержкой времени, порогом освещенности (Lux) и чувствительностью
Изображение продукта потолочного микроволнового датчика движения RZ048
  • Встраиваемый потолочный микроволновый датчик движения для более высоких нагрузок
  • Входное напряжение сети 100-265 VAC, модель на 10A
  • Микроволновое обнаружение 5.8 GHz с регулируемой задержкой времени, порогом Lux и чувствительностью
Изображение продукта потолочного микроволнового датчика движения RZ048
  • Встраиваемый потолочный микроволновый датчик движения
  • Входное напряжение сети 100-265 VAC, модель на 5A
  • Микроволновое обнаружение 5.8 GHz с регулируемой задержкой времени, порогом Lux и чувствительностью
Потолочный микроволновый датчик движения RZ047
  • Низковольтный DC потолочный микроволновый датчик движения
  • Вход 12В DC/24В DC с диапазоном 10-30В DC
  • Максимальный рабочий ток 10A с регулируемой задержкой времени, порогом освещенности (Lux) и чувствительностью
Потолочный микроволновый датчик движения RZ047
  • Потолочный микроволновый датчик движения для более высоких нагрузок
  • Входное напряжение сети 100-265 VAC, модель на 10A
  • Микроволновое обнаружение 5.8 GHz с регулируемой задержкой времени, порогом Lux и чувствительностью
Потолочный микроволновый датчик движения RZ047
  • Потолочный микроволновый датчик движения
  • Входное напряжение сети 100-265 VAC, модель на 5A
  • Микроволновое обнаружение 5.8 GHz с регулируемой задержкой времени, порогом Lux и чувствительностью
RZ040 Комплект беспроводного выключателя и приемника
  • Комплект беспроводного выключателя и приемника для управления включением/выключением освещения в помещении
  • Приемник 100-230VAC, 50/60Hz с номинальным током 5A
  • Беспроводной выключатель с питанием от CR2032 и связью 2.4GHz
  • Распознавание присутствия (Авто-ВКЛ/Авто-ВЫКЛ)
  • 12–24V DC (10–30VDC), до 10A
  • Покрытие 360°, диаметр 8–12 м
  • Задержка времени 15 с–30 мин
  • Датчик света Выкл/15/25/35 Люкс
  • Высокая/Низкая чувствительность
  • Режим автоматического включения/выключения при заполнении
  • 100–265В перем. тока, 10А (необходим нейтральный провод)
  • Область покрытия 360°; диаметр обнаружения 8–12 м
  • Задержка времени 15 с–30 мин; Lux OFF/15/25/35; Чувствительность Высокая/Низкая
  • Режим автоматического включения/выключения при заполнении
  • 100–265В перем. тока, 5А (необходим нейтральный провод)
  • Область покрытия 360°; диаметр обнаружения 8–12 м
  • Задержка времени 15 с–30 мин; Lux OFF/15/25/35; Чувствительность Высокая/Низкая
  • 100V-230VAC
  • Дальность передачи: до 20 м
  • Беспроводной датчик движения
  • Проводной контроль
  • Напряжение: 2x AAA Batteries / 5V DC (Micro USB)
  • Режим день/ночь
  • Задержка времени: 15 мин, 30 мин, 1 ч (по умолчанию), 2 ч
  • Сетевой адаптер питания с вилкой европейского стандарта

Часто задаваемые вопросы

Как работает MOCVD

В процессе MOCVD нагретая пластина подвергается воздействию газового потока, содержащего "прекурсоры", такие как триметилгаллий и аммиак (TMGa, NH3). Эти прекурсоры разлагаются при нагревании, обычно при температурах от 400°C до 1300°C в зависимости от материала, который необходимо осадить.

В чем разница между CVD и MOCVD

Металлоорганическое химическое осаждение из паровой фазы (MOCVD) - это модифицированная версия химического осаждения из паровой фазы (CVD) [22,23]. Он используется для получения высокочистых кристаллических полупроводниковых тонких пленок и микро/наноструктур.

В чем разница между MOCVD и MOVPE

MOCVD, также называемый MOVPE или OMVPE, - это широко распространенный метод выращивания полупроводниковых материалов группы III-V на кремниевой подложке.

Каковы преимущества MOCVD

Помимо возможности достижения высокой точности производства, MOCVD дает преимущество осаждения тонких пленок в больших объемах. Такая возможность крупномасштабного производства обеспечивает более высокую точность по сравнению с другими методами. Кроме того, MOCVD является гибким процессом, что делает его более экономичным выбором по сравнению с другими процессами.

Сколько стоит MOCVD

Многие компании предоставляют субсидии в размере 8-10 миллионов юаней (примерно $1,2-$1,5 миллиона) на покупку MOCVD-реакторов. Эти реакторы, относящиеся к последнему поколению высокопроизводительных систем, обычно стоят около $2,5 млн каждый.

Кто изобрел MOCVD

Изобретенный в компании Rockwell International Гарольдом Манасевитом, MOCVD был готов к дальнейшим исследованиям и продвижению, когда в 1975 году частью компании стал Рассел Дюпюи.

Что такое барботер в MOCVD

Под барботером в MOCVD понимается цилиндр, являющийся неотъемлемой частью системы химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD). Эти устройства специально разработаны для переноса металлоорганических соединений электронного класса из жидкого или твердого прекурсора в парообразную форму, которая может быть использована в процессе.

Каковы темпы роста MOCVD

Типичная скорость роста металлоорганического химического осаждения из паровой фазы (MOCVD) пленок GaN с высокой подвижностью составляет от 2 до 3 мкм в час.

В чем преимущества MOCVD перед MBE

Технология MBE известна своей высокой точностью, но она имеет высокую цену и требует сверхвысокого вакуума. С другой стороны, MOCVD - это более экономичный вариант, который работает под давлением. Однако важно отметить, что MOCVD не может обеспечить такой же уровень точности, как MBE. В конечном итоге выбор между этими двумя методами должен основываться на специфических требованиях приложения и желаемом уровне контроля над слоями покрытия.

Оставьте комментарий

Russian