מה זה MOCVD
MOCVD, או Metal Organic Chemical Vapor Deposition, היא טכניקה המשמשת בתעשיית התאורה להנחת סרטים דקים של חומרים על גבי מצע. תהליך זה כולל שימוש במבשרים אורגניים ממתכת, אשר מחוממים בתוך תא כור כדי לייצר אדים. האדים שנוצרו לאחר מכן מגיבים עם מצע מוליכים למחצה, מה שמוביל להיווצרות של סרט דק. MOCVD מבוצע בתנאים מבוקרים בקפידה, כולל בקרה מדויקת על טמפרטורה, לחץ וקצב זרימת גז.
אולי אתה מעוניין
- חיישן תפוסה PIR RZ037 מותקן תקרה עם דימר להספק 220V
- זרם עבודה מקסימלי 3A עם עומס מדורג 660W
- כפתור LUX שולט על הפעלה/כיבוי של חיישן האור ועל בהירות הדימר שנקבעה על ידי המשתמש
- חיישן תפוסה PIR RZ037 מותקן תקרה עם דימר להספק 110V
- זרם עבודה מקסימלי 3A עם עומס מדורג 330W
- כפתור LUX שולט על הפעלה/כיבוי של חיישן האור ועל בהירות הדימר שנקבעה על ידי המשתמש
- חיישן תפוסה PIR מותקן תקרה עם פלט ממסר מגע יבש
- ספק מתח נמוך 12/24VDC או 12/24VAC
- מגעי ממסר מבודדים COM, NO, NC עבור כניסות EMS, HVAC ושליטה מבניין
- מתג חיישן תנועה מיקרוגל שקוע בתקרה, DC במתח נמוך
- מתח כניסה 12 VDC / 24 VDC עם טווח 10-30 VDC
- זרם עבודה מקסימלי 10A עם השהיית זמן מתכווננת, סף Lux ורגישות
- מתג חיישן תנועה מיקרוגל שקוע בתקרה בעל עומס גבוה
- מתח כניסה קו 100-265 VAC, דגם 10A
- חישת מיקרוגל בתדר 5.8 GHz עם השהיית זמן מתכווננת, סף Lux ורגישות
- מתג חיישן תנועה מיקרוגל שקוע בתקרה
- מתח כניסה קו 100-265 VAC, דגם 5A
- חישת מיקרוגל בתדר 5.8 GHz עם השהיית זמן מתכווננת, סף Lux ורגישות
- מתג חיישן תנועה מיקרוגל מותקן בתקרה, DC במתח נמוך
- מתח כניסה 12 VDC / 24 VDC עם טווח 10-30 VDC
- זרם עבודה מקסימלי 10A עם השהיית זמן מתכווננת, סף Lux ורגישות
- מתג חיישן תנועה מיקרוגל מותקן בתקרה בעל עומס גבוה
- מתח כניסה קו 100-265 VAC, דגם 10A
- חישת מיקרוגל בתדר 5.8 GHz עם השהיית זמן מתכווננת, סף Lux ורגישות
- מתג חיישן תנועה מיקרוגל מותקן בתקרה
- מתח כניסה קו 100-265 VAC, דגם 5A
- חישת מיקרוגל בתדר 5.8 GHz עם השהיית זמן מתכווננת, סף Lux ורגישות
- ערכת מתג אלחוטי ומקלט לבקרת תאורה פנימית ON/OFF
- מקלט 100-230VAC, 50/60Hz עם זרם נקוב 5A
- מתג אלחוטי המופעל באמצעות CR2032 עם תקשורת 2.4GHz
- תפוסה (הפעל-אוטומטי/כיבוי-אוטומטי)
- 12–24V DC (10–30VDC), עד 10A
- כיסוי של 360°, קוטר 8–12 מ'
- עיכוב זמן 15 שניות–30 דקות
- חיישן אור כבוי/15/25/35 לוקס
- רגישות גבוהה/נמוכה
- מצב תפוסה הפעלה אוטומטית/כיבוי אוטומטי
- מתח 100–265V AC, עומס 10A (ניטרל נדרש)
- כיסוי ב-360°; קוטר גילוי 8–12 מ'
- עיכוב זמן 15 שניות–30 דקות; Lux OFF/15/25/35; רגישות גבוהה/נמוכה
- מצב תפוסה הפעלה אוטומטית/כיבוי אוטומטי
- מתח 100–265V AC, 5A (דרוש נייטרל)
- כיסוי ב-360°; קוטר גילוי 8–12 מ'
- עיכוב זמן 15 שניות–30 דקות; Lux OFF/15/25/35; רגישות גבוהה/נמוכה
- 100V-230VAC
- מרחק שידור: עד 20 מ'
- חיישן תנועה אלחוטי
- בקר מחובר ישירות לחשמל
- מתח: 2x סוללות AAA / 5V DC (Micro USB)
- מצב יום/לילה
- עיכוב זמן: 15 דקות, 30 דקות, 1 שעה (ברירת מחדל), 2 שעות
- מתאם מתח עם תקע אירופאי
- מתאם מתח עם תקע בריטי
- מתאם מתח תקע אמריקאי
- 5V DC
- מרחק שידור: עד 30 מ'
- מצב יום/לילה
- 5V DC
- מרחק שידור: עד 30 מ'
- מצב יום/לילה
שאלות נפוצות
כיצד פועל MOCVD
בתהליך MOCVD, רקיק מחומם נחשף לזרם גז המכיל 'קודמים' כגון טרימתיל-גליום ואמוניה (TMGa, NH3). מבשרים אלה מתפרקים בעת חימום, בדרך כלל בטמפרטורות הנעות בין 400 מעלות צלזיוס ל-1300 מעלות צלזיוס בהתאם לחומר שיש להפקיד.
מה ההבדל בין CVD ל-MOCVD
שקיעת אדים כימית אורגנית (MOCVD) היא גרסה שונה של שקיעת אדים כימית (CVD) [22,23]. הוא משמש לייצור סרטים דקים מוליכים למחצה גבישיים בטוהר גבוה ומבנים מיקרו/ננו.
מה ההבדל בין MOCVD ל-MOVPE
MOCVD, המכונה גם MOVPE או OMVPE, היא שיטה בשימוש נרחב לגידול חומרים מוליכים למחצה מקבוצת III-V על מצע סיליקון.
מהם היתרונות של MOCVD
בנוסף ליכולתו להשיג ייצור ברמת דיוק גבוהה, MOCVD מציע את היתרון של הפקדת סרטים דקים בנפחים גבוהים. יכולת ייצור בקנה מידה גדול זה מדויקת יותר בהשוואה לשיטות אחרות. יתר על כן, MOCVD הוא תהליך גמיש, מה שהופך אותו לבחירה חסכונית יותר בהשוואה לתהליכים חלופיים.
כמה עולה MOCVD
חברות רבות מספקות סובסידיות הנעות בין 8-10 מיליון יואן (כ-1.2 עד 1.5 מיליון דולר) לרכישת כורי MOCVD. כורים אלה, השייכים לדור האחרון של מערכות בעלות קיבולת גבוהה, עולים בדרך כלל כ-2.5 מיליון דולר כל אחד.
מי המציא את MOCVD
הומצא בחברת Rockwell International על ידי Harold Manasevit, MOCVD היה מוכן להמשך חקירה וקידום כאשר ראסל Dupuis הפך לחלק מהחברה ב-1975.
מהו בובלר ב-MOCVD
מבעבע ב-MOCVD מתייחס לצילינדר המהווה חלק בלתי נפרד ממערכת השקיעה הכימית האורגנית של מתכת (MOCVD). התקנים אלה תוכננו במיוחד להובלת תרכובות מתכת-אורגניות בדרגה אלקטרונית ממבשר נוזלי או מוצק לצורת אדים שניתן להשתמש בה בתהליך.
מהו קצב הצמיחה של MOCVD
שיעורי צמיחה אופייניים לסרטי GaN מתכת-אורגניים (MOCVD) עם ניידות גבוהה נעים בין 2 ל-3 מיקרומטר לשעה.
מהם היתרונות של MOCVD על פני MBE
MBE ידוע בדיוק הגבוה שלו, אבל הוא מגיע עם תג מחיר גבוה ודורש שואב אולטרה גבוה. מצד שני, MOCVD היא אפשרות חסכונית יותר הפועלת תחת לחץ. עם זאת, חשוב לציין ש-MOCVD עשוי שלא להציע את אותה רמת דיוק כמו MBE. בסופו של דבר, הבחירה בין שתי הטכניקות צריכה להתבסס על הדרישות הספציפיות של היישום ורמת השליטה הרצויה על השכבות המצופות.
